Author Affiliations +
Hyo Seon Suh,1 Danilo De Simone,1 Christophe Beral,1 Mihir Gupta,1 Nadia Vandenbroeck,1 Anuja De Silva,2 Ali Haider,2 Ching-Chung Huang,2 Mohand Brouri,2 Francesco Gullo,2 Shruti Jambaldinni,2 Benjamin Kam,2 Hicham Zaid,2 Elisseos Verveniotis,2 Samantha Tan,3 Tim Weidman,3 Jengyi Yu,3 Da Li,3 Jun Xue,3 Younghee Lee3
1imec (Belgium)
2Lam Research Belgium BV (Belgium)
3Lam Research Corp. (United States)