Author Affiliations +
Timothy R. Piwonka-Corle,1 Torsten R. Kaack,1 K. F. Scoffone,1 Xing Chen,1 K. B. Malwankar,1 Mark E. Keefer,1 Lloyd J. LaComb Jr.,1 Jean-Louis P. Stehle,2 Jean-Philippe Piel,2 Dorian Zahorski,2 O. Thomas,2 Jean Pierre Rey,2 L. Escadafals2
1Tencor Instruments, Inc. (United States)
2SOPRA SA (France)