Author Affiliations +
Yaobin Feng,1 Pandeng Xuan,1 Dean Wu,1 Bruce Yang,1 Craig Xu,1 Neo Liu,1 Pavel Izikson,2 Huanian You,3 Xi-Zhi Yan,3 Vladimir Markov,4 Yvon Chai,3 Chaoyu Chen,2 Bert Verstraeten,2 Amy Wang,2 Gonzalo Sanguinetti,2 Giacomo Miceli,2 Jelmer Boter,2 Vidar Van der Meijden,2 Hua Li,2 Babak Mozooni2
1Yangtze Memory Technologies Co. (China)
2ASML Netherlands B.V. (Netherlands)
3ASML China (China)
4ASML, China (China)